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上海測(cè)宇科學(xué)儀器科技有限公司

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In-plane 衍射

  In-plane衍射對(duì)于薄膜表征非常重要。如配置Bragg-Brentano標(biāo)準(zhǔn)測(cè)角儀,用于測(cè)量平行于樣品表面的晶面,X射線穿透樣品到一定深度,產(chǎn)生衍射;而若樣品層太薄,X射線則完全透過(guò)樣品而不產(chǎn)生衍射。這種情況下,應(yīng)使用in-plane衍射。 In-plane衍射具有以下兩個(gè)特點(diǎn):
1.光束穿透深度有限,約100 nm。
2.該技術(shù)測(cè)量幾乎垂直樣品表面的晶面,是其他技術(shù)無(wú)法達(dá)到的。

系統(tǒng)

  • 自動(dòng) in-plane XRD: SmartLab?
  • 高性能in-plane XRD: Ultima IV